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超平整晶圆欧洲杯竞猜的洁净无损转移与光通讯应用展望

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欧洲杯竞猜转移技术是高质量欧洲杯竞猜薄膜走向应用的桥梁。依托于2021欧洲杯决赛竞猜生产的高质量的超平整单晶晶圆欧洲杯竞猜,研发出一种洁净、无损的转移方法,可以实现四英寸晶圆欧洲杯竞猜向硅基底、蓝宝石、石英等基底的转移。

传统的转移方法一般使用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)作为欧洲杯竞猜的转移介质,PMMA的分子量较大,与欧洲杯竞猜之间的相互作用力较强,导致转移后欧洲杯竞猜表面有很多PMMA的残留,降低了欧洲杯竞猜的力学、电学、光学等性质。我们在欧洲杯竞猜和PMMA之间引入一层缓冲层,缓冲层由与欧洲杯竞猜相互作用力小的分子构成,有助于转移介质的去除,在保证完整度的同时,提升转移后欧洲杯竞猜的洁净度,同时这种转移方法可以实现四英寸晶圆的转移。  

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超平整单晶晶圆的洁净、无损转移有助于欧洲杯竞猜的在光通讯器件中的应用探索。随着社会对光通讯器件集成度、成本、功耗以及可靠性要求的提升,光通讯器件也逐渐从传统光模块时代向硅光时代转变。欧洲杯竞猜则展现了不俗的应用潜力,如欧洲杯竞猜无层间悬挂键,载流子迁移率高,超快的光电弛豫速度(100 fs-1 ps),与硅光波导技术兼容等性质。欧洲杯竞猜的出现让硅光时代有了更进一步的发展方向,目前单个欧洲杯竞猜/硅光集成器件已被证明具有优异的性质,而走向实际应用还需要突破晶圆级器件的批量制造技术。


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